新方法有望改進半導體

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碳化矽 (SiC) 是一種半導體,與純矽相比具有某些優勢,使其在高功率、高頻率和高溫應用中非常理想。然而,它的缺點是優質的 SiC 晶體難以生長。日本的研究人員今天在《自然》雜誌上報告說,他們透過改進晶體形成的晶種克服了這些困難。

與大多數工業半導體不同,SiC 沒有液態形式,這意味著必須開發全新的技術才能從 SiC 蒸汽中生長出大型晶體。不幸的是,這些過程會導致結構缺陷,從而影響由所得 SiC 晶圓製成的晶片的效能。豐田中央研發實驗室的 Kazumasa Takatori 和他的同事透過在多個方向上生長單個 SiC 晶體,成功減少了晶體中的缺陷數量。

SiC 的基本結構是矽-碳雙層,其中矽原子位於碳六邊形的頂部。這些雙層定義了所謂的 c 面。研究人員通常在籽晶的 c 面上生長晶圓,但最終產品往往佈滿了微米級的孔洞。為了避免這些“微管”,Takatori 和他的合作者在不同的面上生長他們的晶體——在所謂的 a 面之一上。這個過程類似於蓋房子,不是從地基開始,而是從東牆到西牆。研究小組最初以這種方式生產的晶體實際上充滿了缺陷,但科學家們沿著“南北”方向(也是 a 面)切割切片,並用它們來生長新的晶體。這種 a 面再播種重複了幾次,最後一步是 c 面生長。結果表明,晶體中的缺陷數量隨著 a 面生長的每個階段呈指數下降。


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Takatori 預計,一旦可靠的元件製造出來,SiC 可能會出現在電源轉換器、汽車和家用電器以及通訊基站的放大器中。他說:“SiC 半導體通常預計在 2010-2012 年左右投入實際使用。” 法國格勒諾布林國家理工學院的 Roland Madar 在一篇隨附的評論中指出,“碳化矽最終已成為矽王冠的競爭者。”

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